质量流量计/质量流量控制器
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ZF-MFC-XX系列 质量流量计/质量流量控制器

质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)是以气体的质量流量为计量基准的流量计。传感器采用进口流量传感芯片及温度补偿技术,其测量值不随气体的压力,温度的变化而波动。较之一般的体积流量计具有无可比拟的优越性,同时具有全量程高稳定性,高精确度和优良的重复性,测量精度高,计量的起始流量小,自动稳零点,响应速度快。同时可输出4~20mA信号,可供远程仪表连接由上位机实现设定、控制、记录等功能 。

质量流量计控制器
质量流量计控制器采用320*240彩色触摸屏。全中/英文界面,清洗,关闭,控制,规格量程,气体种类,一键式操作。显示界面直观,操作简便



应用场合

管道的气体--沼气,煤气,天然气,液化气,锅炉预热空气。
石油与天然气工业--燃气计量,气体质量分析,泄漏气测试,天然气测量。
电力行业--燃料系统中气体分配过程中的气体测量,锅炉乃辅助系统中各种气体的测量,燃气炉中气体测量,氢气测量控制,电厂高炉的一次风,二次风的测量。
化学工业--烟气循环测量,采样系统中气体流量计量控制。引风机的气体流量计量控制,化肥厂氨气测量控制,电池工厂各种气体流量测量控制。
冷扎行业--钢铁厂加气测量,炼钢厂,高炉煤气测量,焦化厂焦炉煤气的测量控制,轧钢厂加热炉燃气的测量控制,热处理炉的氢,氧,氮等气体的控制。
食品及医疗行业--热氧化过程中气体流量测量控制,通风系统锅炉进气,废弃,二氧化碳的处理等。
系统集成商 特殊气体厂商,真空元件供应商,真空系统集成商,电池系统集成商,生化系统集成商,气体装配流水线集成商,大学实验室,科研机构实验室,气体公司,研发机构。
典型应用--电子工业设备,如氧化,CVD,扩散,外延,等离子蚀刻,离子注入和溅射,以及微反应装置,配气和混气系统,镀膜设备,光钎熔炼,气相色谱以及其他分析仪器。

注意事项
对于反应系统,建议在气体质量流量计控制器的出流端加装单向阀,以防止异常情况下 反应物倒流损坏质量流量计控制器。
对于高压系统,应在气体质量流量计控制器的下游加装背压阀,保证气体质量流量计的工作压力。注意加装过滤器以净化气源,延长质量流量计控制器的使用寿命。
对于硅烷这样的遇气体易形成结晶的气体,应特别注意系统的密闭性,必要时设计清洗旁路,随时进行氮气吹洗或过压保持。
有高频源的系统应注意屏蔽并特别注意处理好接地问题。
对于高真空系统注意各路接头尽量减少,并采用VCR等接头
质量流量计控制器的安装位置应易于装卸,检测,调零并安全可靠。
对精度特殊要求极高的系统应注意冗余设计
注意正确使用操作.对于比较复杂的系统或使用特殊气体的系统,应当建立自己的操作规程。
注意轻拿轻放妥善保管,质量流量控制器非常精密,应避免受到撞击和震动,产品不用时注意放在较好环境中妥善保管。
注意定期标定,如果自带标定装置可以省去。
注意使用气体与流量计的密封材料相适应。
质量流量控制器通常采用的密封材料是氟橡胶,能适应大多数气体的使用,包括HCL这样的强腐蚀气体,但对于氨气必须使用耐氨橡胶,对于有机溶剂类气体,如丙酮,甲苯等必须使用硅橡胶,对于使用三氯化硼,三溴化硼等强腐蚀性介质,必须使用四氟密封或金属密封,流量计用户在订货时必须注意

产品特点 & 技术指标





产品创新点

进口传感器芯片技术
ZF—MFC-质量流量计控制器采用了进口传感器.使精度,温漂,环境的剧烈变化影响得到极大的提高

无毛细管技术
通气口径达到6mm,对粘度较大,含杂质气体能保证精度。如硫化氢气体等。

超微流量控制
最小流量分辨率0.01ml/min 并能精确控制

触摸屏功能
ZF—MFC-2产品采用最新技术,所有量程,气体切换一键搞定,操作方法一目了然,并有中英文可随意选择,强大的操作功能,可以完全兼容所有厂家的客户端接口

高精度 快响应
ZF—MFC-3质量流量计控制器,产品准确度采用设定点精度,显示精度,标定精度三点精度可达0.5%FS,响应时间≤200ms


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